HTCVD Silicon Carbide ((CVD SIC) องุ่นการเติบโตของ epitaxy

อุปกรณ์นี้ใช้ในการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของวัสดุที่มีฐานะคาร์บอน / เซรามิกโดยเฉพาะการฝากของซิลิคอนคาร์ไบด์บนผิวของเซมคอนดักเตอร์ อีพิตาซิยาล ซูสเปคเตอร์และวงแหวนถัก.

ฐานเอปิตาซิอัล ผังกราฟิตความบริสุทธิ์สูง มีรูมกลมบนมัน เพื่อปรับพื้นฐานของวอฟเฟอร์หลังจากวางมันในเตาอบ จะมีชั้นของฟิล์มคริสตัลเติบโตขึ้นบนพื้นผิวของพื้นฐาน ซึ่งเป็นชั้น Epitaxialกระบวนการแผ่นคลื่น เช่น ลิทโกรฟีและการปลูกไอออนทั้งหมดถูกดําเนินการบนชั้นเอปิตาซิอัล

ฐานเอปิตาซิอัลที่ทําจากกราฟไทต์ ชัดเจนว่าไม่สามารถตอบสนองความต้องการความสะอาดที่สูงมากในกระบวนการครึ่งตัวนําเพราะเหตุนี้ เราจําเป็นต้องใช้สารเคมีที่หลอมลงบนพื้นฐาน เพื่อห่อผนังซิลิคอนคาร์ไบด์

การตั้งค่าแบบเลือก

1. ประตูเตาอบ: สกรู / ไฮดรอลิก / แบบการยกมือ; เปิดสวิง / เปิดปานกลาง ((ประตูเตาอบขนาดใหญ่); ปิดด้วยมือ / ปิดด้วยวงแหวนล็อคอัตโนมัติ
2ภาชนะเตาอบ: เหล็กคาร์บอนทั้งหมด/เหล็กไร้ขัดชั้นชั้นในทั้งหมด
3โซนร้อนของเตาอบ: ฟิลท์คาร์บอนอ่อน / ฟิลท์กราฟิตอ่อน / ฟิลท์คอมพอไซต์แข็ง / CFC
4ธาตุทําความร้อนและหม้อ: กราฟิตกราฟิตกระบวนการกระบวนการ isostatic / ความบริสุทธิ์สูง, ความแข็งแรงและความหนาแน่นของกราฟิต / กราฟิตขนาดเล็ก
5ระบบแก๊สกระบวนการ: ปริมาตรการระบายของปริมาณ/มวล
6. เทอร์โมคอปเปอร์: ประเภท K / ประเภท N / ประเภท C / ประเภท S

• มาตรฐานการออกแบบ

อุปกรณ์ถูกออกแบบให้สอดคล้องกับความต้องการของภาชนะความดันของสํานักงานตรวจสอบคุณภาพและเทคนิค และได้รับคุณสมบัติหลังจากการทดสอบความดันและส่งการออกแบบและการสร้างไฟฟ้าตรงกับมาตรฐานแห่งชาติ.

• การทดสอบก่อนการติดตั้งและการรับรองก่อนการติดตั้ง

อุปกรณ์ถูกประกอบทั้งหมดในโรงงานของเรา รวมถึงท่อหล่อทั้งหมด ท่อระบายความว่าง ท่อหล่อแก๊สกระบวนการ ท่อหล่อน้ําเย็น ท่อหล่ออากาศดัน เป็นต้นการทดสอบก่อนสามารถดําเนินการหลังจากการติดตั้งในสถานที่ของลูกค้า ท่อหลอดอื่น ๆ นอกจากอุปกรณ์จะถูกจัดให้โดยลูกค้า การติดตั้งยังรวมการเชื่อมต่อของสายไฟทั้งหมดสายสายหลักเชื่อมต่อตู้พลังงานถูกจัดให้โดยลูกค้าหลังจากการติดตั้ง เราทําการทดสอบการรั่วไหลในระยะว่าง และความดันบวกบนอุปกรณ์ทั้งหมด รวมถึงการทดสอบการทํางานทางกลและไฟฟ้า

• การแยกและขนส่ง

อุปกรณ์จะถอนออกเป็นหลายชิ้นใหญ่ แพ็คในวิธีการมาตรฐาน และบรรทุกในรถขนส่ง

• การติดตั้งและใช้งานสถานที่ของลูกค้า

วิศวกรหลังการขาย Redel จะนําทีมงานไปเสร็จสิ้นการใช้งาน การทดลองผลิตภัณฑ์ การเผาไหม้ และงานอื่นๆ ภายใน 20 วันทําการลูกค้าต้องเตรียมความพร้อมที่เหมาะสม และจัดสรรเครื่องมือที่จําเป็นและให้การสนับสนุนบุคลากรในการติดตั้ง (แนะนําให้มีบุคลากรเครื่องกล 1 คนและบุคลากรไฟฟ้า 1 คน)

• การยอมรับครั้งสุดท้าย
หลังจากการติดตั้งและการใช้งาน อุปกรณ์สามารถรับรองได้อย่างสิ้นเชิงตามความต้องการของสัญญาทางเทคนิค

• การฝึกอบรม
วิศวกรหลังการขายของเราจะให้การฝึกอบรมที่สถานที่อย่างเป็นระบบและครบถ้วน รวมถึงการใช้งาน, การบํารุงรักษา, การแก้ปัญหา, ฯลฯ

• การส่งข้อมูลทางเทคนิค

เพื่อรับรองการใช้งานและการบํารุงรักษาอุปกรณ์อย่างปลอดภัย จะให้ข้อมูลเทคนิคต่อไปนี้กับลูกค้า:

1การวางแผนการติดตั้งอุปกรณ์
2. คู่มือการใช้งาน
3รายการอะไหล่
4ภาพวาดไฟฟ้า
5คู่มือส่วนประกอบ

FAQ

คุณเป็นโรงงานหรือบริษัทการค้า?

Q: คุณเป็นโรงงานหรือบริษัทการค้า?
ตอบ: เราเป็นผู้ผลิตเตาสูบอุ่นอุณหภูมิสูงชั้นนําของจีนที่มีประสบการณ์มากกว่า 10 ปี

คุณมีการปรับแต่งหรือบริการ OEM?

Q: คุณมีการปรับแต่งหรือบริการ OEM?
A: ใช่ เรามีทีมงาน R & D ที่มีพลังและอุปกรณ์เทคโนโลยีสูง ดังนั้นเราไม่สามารถเพียงแค่จําหน่ายรุ่นปกติ แต่ยังสามารถจําหน่ายเตาอบที่สามารถปรับแต่งได้

คุณมีข้อดีอะไร

Q: คุณมีข้อดีอะไร?
A:

ผมตอบคําถามคุณอย่างรวดเร็ว

l การควบคุมคุณภาพสูง

l ตําแหน่งจําหน่ายที่มั่นคง

l การจัดส่งทันเวลา

หน่วยบริการหลังการขายดีเยี่ยม