เครื่องอบเคลือบ CVD ของซิลิคอนคาร์ไบด์ สําหรับตัวต่อกราฟิตหรือแหวนการกัด

เครื่องอบเคลือบ CVD ของซิลิคอนคาร์ไบด์ สําหรับตัวต่อกราฟิตหรือแหวนการกัด

อุปกรณ์นี้ใช้สําหรับการฝากซิลิคอนคาร์ไบด์บนผิวของวัสดุที่มีฐานะคาร์บอน / เซรามิค โดยเฉพาะสําหรับเซลมิกอนดักเตอร์และวงแหวนถัก

กล่องกราฟไทต์ กล่องกราฟไทต์ความบริสุทธิ์สูง มีรูกลมบนมัน เพื่อปรับพื้นฐานของโวฟเวอร์ชั้นของฟิล์มคริสตัลจะเติบโตบนพื้นผิวของพื้นฐานซึ่งเป็นชั้น Epitaxial

กระบวนการกระเป๋าคลื่น เช่น การฉลากและการฝังไอออนทั้งหมดถูกดําเนินการบนชั้น Epitaxialพื้นฐาน Epitaxial ทําจากกราฟิต เป็นที่ชัดเจนไม่สามารถตอบสนองความต้องการความสะอาดที่สูงสุดในกระบวนการครึ่งตัวนํา.

เพราะเหตุนี้ เราจําเป็นต้องใช้สารเคมีที่หลอมลงบนพื้นฐาน เพื่อห่อชั้นของฟิล์มซิลิคอนคาร์ไบด์หนาแน่น

• มาตรฐานการออกแบบ

อุปกรณ์ถูกออกแบบให้สอดคล้องกับความต้องการของภาชนะความดันของสํานักงานการตรวจสอบคุณภาพและเทคนิค และได้รับคุณสมบัติหลังจากการทดสอบความดันและส่งการออกแบบและการสร้างไฟฟ้าตรงกับมาตรฐานแห่งชาติ.

• การทดสอบก่อนการติดตั้งและการรับรองก่อนการติดตั้ง

อุปกรณ์ถูกประกอบทั้งหมดในโรงงานของเรา รวมถึงท่อหลอดทั้งหมด ท่อระบายอากาศ, ท่อหลอดก๊าซกระบวนการ, ท่อหลอดน้ําเย็น, ท่อหลอดอากาศบด, เป็นต้นการทดสอบก่อนสามารถดําเนินการหลังจากการติดตั้งในสถานที่ของลูกค้า ท่อหลอดอื่น ๆ นอกเหนือจากอุปกรณ์จะถูกจัดให้โดยลูกค้า การติดตั้งยังรวมการเชื่อมต่อของสายไฟทั้งหมดสายสายหลักเชื่อมต่อตู้พลังงานถูกจัดให้โดยลูกค้าหลังจากการติดตั้ง เราทําการทดสอบการรั่วไหลในระยะว่าง และความดันบวกบนอุปกรณ์ทั้งหมด รวมถึงการทดสอบการทํางานทางกลและไฟฟ้า

• การแยกและขนส่ง

อุปกรณ์จะถอนออกเป็นหลายชิ้นใหญ่ แพ็คในวิธีการมาตรฐาน และบรรทุกในรถขนส่ง

• การติดตั้งและใช้งานสถานที่ของลูกค้า

วิศวกรหลังการขาย Redel จะนําทีมงานไปทําการชําระสินค้า การทดลองผลิตภัณฑ์ และงานอื่นๆ ภายใน 20 วันทําการลูกค้าต้องเตรียมความพร้อมที่เหมาะสม และจัดสรรเครื่องมือที่จําเป็นและให้การสนับสนุนบุคลากรในการติดตั้ง (แนะนําให้มีบุคลากรเครื่องกล 1 คนและบุคลากรไฟฟ้า 1 คน)

• การยอมรับครั้งสุดท้าย

หลังจากการติดตั้งและการใช้งาน อุปกรณ์สามารถรับรองได้อย่างสิ้นเชิงตามความต้องการของสัญญาทางเทคนิค

• การฝึกอบรม

วิศวกรหลังการขายของเราจะให้การฝึกอบรมที่สถานที่อย่างเป็นระบบและครบถ้วน รวมถึงการใช้งาน, การบํารุงรักษา, การแก้ปัญหา, ฯลฯ

• การส่งข้อมูลทางเทคนิค

เพื่อรับรองการใช้งานและการบํารุงรักษาอุปกรณ์อย่างปลอดภัย จะให้ข้อมูลเทคนิคต่อไปนี้กับลูกค้า:

1การวางแผนการติดตั้งอุปกรณ์

2. คู่มือการใช้งาน

3รายการอะไหล่

4ภาพวาดไฟฟ้า

5คู่มือส่วนประกอบ