2026-08-12
ทําไมครึ่งประสาทต้องมีแผ่นบาง?
ชิปชิปเดียวคือ โครงสร้างสามมิติ ที่สร้างขึ้นโดยการวางกันอย่างแม่นยํา จากหลายร้อยชั้นหนังบาง
แต่ละชั้นมีหน้าที่พิเศษ
| ประเภทหนังบาง |
หน้าที่ |
วัสดุประจํา |
| ชั้นนําไฟ | นําไฟฟ้าและเชื่อมอุปกรณ์ | Al, Cu, W, TiN |
| ชั้นกันหนาว | ตัดแยกวงจรและป้องกันการรั่วไหลของไฟฟ้า | SiO2, SiN, Low-k |
| ชั้นป้องกัน | ป้องกันการแพร่กระจายและปรับปรุงความน่าเชื่อถือ | TaN, TiN, W |
| วัสดุประตู | การเปลี่ยนอุปกรณ์ควบคุม | โพลีไซ โลหะประตู |
| ชั้น passivation | ป้องกันพื้นผิวและเพิ่มความมั่นคง | ซีน ซีอน |
| ผนังแบบไฟฟ้า | เก็บชาร์จไฟฟ้าเพื่อทําหน้าที่ |
|
เทคโนโลยีแผ่นบางครึ่งประสาท
ฟิล์มจะเกิดอย่างไร?
1แหล่งวัสดุ: เป้าหมายแข็ง, ธาตุปฏิกิริยาแบบก๊าซหรือสารรุกรุกทางเคมี
2การขนส่ง: ผ่านพลาสมา, วัคูม, ก๊าซตัวนําหรือการกระจาย
3.ปฏิกิริยาบนพื้นผิว: การดึงดูดทางกายภาพหรือปฏิกิริยาทางเคมีเกิดขึ้นบนพื้นผิวของแผ่น;
4. Nucleation และการเติบโต: การรวมอะตอมสําหรับ nucleation การเติบโตของเกาะ การสร้างหนังต่อเนื่องและการหนาแน่น
5การสร้างฟิล์ม: สร้างฟิล์มบางที่มีความหนาเพิ่มขึ้น โครงสร้างหนาแน่นและโครงสร้างเล็กที่มั่นคง
ส่งข้อสอบของคุณตรงมาหาเรา
