2026-10-09
อะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN) เป็นผลึกที่ถูกครอบงำด้วยพันธะโควาเลนต์ เป็นไนไตรด์ชนิดเพชรหกเหลี่ยม มีคุณสมบัติเด่นคือแถบพลังงานกว้างมาก (6.2 eV) และพลังงานยึดเหนี่ยวของเอ็กไซตอนสูงมาก จัดเป็นสารกึ่งตัวนำชนิดแถบพลังงานตรง โครงสร้างผลึกคล้ายกับ BeO และ SiC เนื่องจากลักษณะพันธะโควาเลนต์ที่มีทิศทางสูง AlN จึงมีคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่โดดเด่น เช่น การนำความร้อนสูง
การตกตะกอนด้วยไอเคมี (CVD) เป็นวิธีการที่มีประสิทธิภาพในการผลิตผง AlN ที่มีขนาดอนุภาคสม่ำเสมอ มีความบริสุทธิ์สูง และมีพื้นที่ผิวจำเพาะมาก สารประกอบอะลูมิเนียมที่ระเหยง่าย (อะลูมิเนียมเฮไลด์หรืออัลคิลอะลูมิเนียม) และแอมโมเนีย (NH₃) จะถูกนำเข้าสู่ห้องทำปฏิกิริยาเพื่อทำปฏิกิริยา ระหว่างปฏิกิริยา NH₃ จะสลายตัวเพื่อให้อะตอมไนโตรเจนที่ว่องไว และผง AlN จะก่อตัวขึ้นผ่านการตกตะกอนในเฟสแก๊ส
ข้อดีของวิธีนี้ ได้แก่ ความบริสุทธิ์ของผลิตภัณฑ์สูงและขนาดอนุภาคละเอียด ข้อเสียคือต้นทุนการผลิตสูง ข้อกำหนดด้านอุปกรณ์ที่เข้มงวด และอัตราการผลิตต่ำ อย่างไรก็ตาม อัลคิลอะลูมิเนียมมีราคาแพงและต้องการการจัดเก็บและขนส่งพิเศษภายใต้การป้องกันด้วยก๊าซเฉื่อย เป็นผลให้กระบวนการนี้ยังคงอยู่ในขั้นการวิจัยในห้องปฏิบัติการเป็นส่วนใหญ่ และยังไม่ประสบความสำเร็จในการผลิตเชิงอุตสาหกรรมขนาดใหญ่
ส่งข้อสอบของคุณตรงมาหาเรา
