high vacuum furnace (440) ผู้ผลิตออนไลน์
Temp.of deposition((℃): 900-1050
Process pressure(mbar): 100-300
การใช้งาน: เตาเผาผนึก
การรับประกัน: 1 ปี
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
การใช้: เตาเผา
การประกัน: 1 ปี
โครงสร้าง: ห้องเดี่ยว, ประเภท horizental
มิติ: ที่กำหนดเอง
ระดับความดัน: 1MPa / 2MPa / 6MPa / 10MPa
อนุญาตให้มีการแนะนำก๊าซ: Ar / N2 / H2 / CH4
ห้องปฏิกิริยา: 2 ชิ้น
อุณหภูมิสูงสุด:: 1100 ℃
เครื่องปฏิกรณ์: 2 ชิ้น
อุณหภูมิสูงสุด:: 1100 ℃
ส่งข้อสอบของคุณตรงมาหาเรา