เครื่องเคลือบ RDE 530L CVD อัตโนมัติสูงพร้อมห้องทำปฏิกิริยาสองห้อง

เตาเคลือบผิว CVD RDE 530L อัตโนมัติสูงพร้อมห้องทำปฏิกิริยาสองห้อง

1.อุปกรณ์ความแข็งแกร่งส

1.1 โหมดอัตโนมัติตามการตั้งค่ากระบวนการ ส่วนประกอบและกระบวนการแต่ละอย่างจะถูกควบคุมโดยอัตโนมัติการควบคุมอัตโนมัติรวมถึงสวิตช์วาล์ว, การควบคุมการไหลของก๊าซในกระบวนการ, การควบคุมการไหลของของเหลวในกระบวนการผลิต, การควบคุมความดันของเครื่องปฏิกรณ์, เตาเผาความร้อนและการควบคุมอุณหภูมิของสายพานทำความร้อนไฟฟ้า ฯลฯ โดยปราศจากการแทรกแซงของมนุษย์ในกระบวนการทั้งหมดกระบวนการทำงานอัตโนมัติทำให้เกิดการประมวลผลการเตือนภัยอัตโนมัติตามประเภทการเตือนที่แตกต่างกัน มันจะเข้าสู่โหมดการเตือนโดยอัตโนมัติเพื่อปกป้องผลิตภัณฑ์ในเตาเผาหลังจากปล่อยสัญญาณเตือนแล้ว จะสามารถเรียกคืนสถานะก่อนการเตือนได้ด้วยตนเอง

1.2.กระบวนการนี้ได้รับการตรวจสอบตลอดกระบวนการ ข้อมูลเซ็นเซอร์และสถานะของวาล์วทั้งหมดจะถูกบันทึกไว้ในข้อมูลประวัติ ซึ่งสามารถดูได้ตลอดเวลา

1.3.โหมดแมนนวลมีระบบล็อคนิรภัยซึ่งจะตรวจจับการล็อคโดยอัตโนมัติตามประเภทของก๊าซและอุณหภูมิภายในเครื่องปฏิกรณ์ และไม่สามารถเปิดเครื่องปฏิกรณ์ได้ตามต้องการโหมดแมนนวลถูกกำหนดด้วยการทำงานด้วยปุ่มเดียว เช่น การดูดฝุ่น, H₂ล้าง, N₂ล้าง ฯลฯ ไม่จำเป็นต้องย้ายวาล์วและปั๊มสุญญากาศแต่ละตัวด้วยตนเอง

1.4.ข้อมูลการเตือนจะถูกบันทึกโดยอัตโนมัติ และสามารถดึงข้อมูลย้อนหลังได้ตลอดเวลา

2. สภาพแวดล้อมการทำงานในโรงงาน

2.1 ความชื้นและอุณหภูมิโดยรอบ

2.1.1 ความชื้นแวดล้อม: <90% (ที่ +35°C)

2.1.2 อุณหภูมิแวดล้อม: 5℃～40℃

2.2 แหล่งจ่ายไฟ

2.2.1 แหล่งจ่ายไฟ: 380V±10%, 50Hz, ระบบห้าสายสามเฟส

2.2.2 แหล่งจ่ายไฟควบคุม: 210V～250V, 50Hz, เฟสเดียว

2.3 แหล่งอากาศ

2.3.1 แรงดันอากาศอัด: 6-7bar,

2.3.2 แรงดันอาร์: 2-3bar,

2.3.3 ชม₂แรงดันและการไหล: 2-3bar, 0-75slm

2.3.4 น₂แรงดันและการไหล: 2-3bar, 0-50slm

2.3.5 แรงดัน CO และการไหล: 2—3bar, 0-2.5slm

2.3.6 บจก₂แรงดันและการไหล: 2-3bar, 0-5slm

2.3.7 ช₄แรงดันและการไหล: 2-3bar, 0-5slm

2.3.8 ความดันและการไหล HCl: 2-3bar, 0-5slm

2.3.9 ฮ₂แรงดันและการไหล: 2-3bar, 0-0.4slm

2.4 แหล่งน้ำ

2.4.1 แรงดันน้ำหล่อเย็น: 2-3bar แนะนำให้ใช้น้ำบริสุทธิ์อุณหภูมิอยู่ที่ 13-16°C(ลูกค้าต้องติดเครื่องทำน้ำเย็น) น้ำหล่อเย็นไหล 5m³/ชม.

2.4.2 แหล่งน้ำสำรองฉุกเฉิน (ผู้ใช้ต้องเตรียมเอง)

แรงดัน: 1.5bar—2bar